氣(qi)相(xiang)沉積按(an)形(xing)成(cheng)的(de)(de)基本原理，分(fen)為化學氣(qi)相(xiang)沉積（CVD）和物理氣(qi)相(xiang)沉積（PVD）。氣(qi)相(xiang)沉積是在工(gong)件(jian)表面(mian)覆蓋一(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)厚度為0.5～10μm的(de)(de)過(guo)渡族(zu)元素(su)（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)成(cheng)的(de)(de)化合物，或單一(yi)的(de)(de)金屬及非金屬涂(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)，使(shi)零件(jian)表層(ceng)(ceng)(ceng)改變化學成(cheng)分(fen)，并在其表面(mian)形(xing)成(cheng)功(gong)能(neng)性(xing)（例(li)如(ru)超硬耐磨層(ceng)(ceng)(ceng)）或裝飾性(xing)的(de)(de)化合物涂(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)新技術，現已廣(guang)泛應(ying)用于各(ge)類(lei)零件(jian)的(de)(de)硬化處理。沉積層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)主要(yao)類(lei)別及特(te)性(xing)見(jian)表3-38。
主(zhu)要應用的沉積層TiC、TiN涂層有(you)以下(xia)特(te)點：
a. 涂層有很高的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦(ca)因數和自潤滑(hua)性能，所以抗磨粒磨損性能良好。
b. 涂層具(ju)有很(hen)(hen)高(gao)的(de)熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩定(ding)性(xing)好，基體金屬(shu)在涂層中的(de)溶解度小，摩擦(ca)因數較(jiao)低(di)，因而具(ju)有很(hen)(hen)高(gao)的(de)抗粘(zhan)著(zhu)磨損能力，使用中發生冷焊和(he)咬合的(de)傾向也很(hen)(hen)小，而且TiN比TiC更好。
c. 涂層(ceng)(ceng)有(you)較強的(de)耐蝕(shi)(shi)性(xing)，TiC涂層(ceng)(ceng)在硫酸、鹽酸、氯(lv)化鈉水溶(rong)液中的(de)耐蝕(shi)(shi)性(xing)良好，而且(qie)TiN的(de)耐蝕(shi)(shi)性(xing)一般都比TiC更好一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
