氣(qi)相沉(chen)(chen)積按(an)形(xing)(xing)成的基本原理，分(fen)為(wei)化(hua)(hua)學(xue)氣(qi)相沉(chen)(chen)積（CVD）和物(wu)理氣(qi)相沉(chen)(chen)積（PVD）。氣(qi)相沉(chen)(chen)積是在工(gong)件表面覆蓋一層(ceng)厚度(du)為(wei)0.5～10μm的過渡(du)族(zu)元(yuan)素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)(xing)成的化(hua)(hua)合(he)物(wu)，或單一的金屬(shu)及(ji)非金屬(shu)涂層(ceng)，使零件表層(ceng)改(gai)變(bian)化(hua)(hua)學(xue)成分(fen)，并在其表面形(xing)(xing)成功能(neng)性（例(li)如超硬耐磨層(ceng)）或裝飾(shi)性的化(hua)(hua)合(he)物(wu)涂層(ceng)的新技術，現已廣泛應用于各(ge)類零件的硬化(hua)(hua)處(chu)理。沉(chen)(chen)積層(ceng)的主要類別及(ji)特性見表3-38。
主要應用的沉積層TiC、TiN涂層有以下特點：
a. 涂(tu)層有很高的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和自潤滑性能，所(suo)以抗磨(mo)粒磨(mo)損(sun)性能良好。
b. 涂層具有很(hen)(hen)高的熔(rong)點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化(hua)學穩定性(xing)好，基體(ti)金屬(shu)在涂層中的溶(rong)解度小，摩擦因數較低，因而具有很(hen)(hen)高的抗粘著磨損能力，使(shi)用中發生冷焊和(he)咬合(he)的傾(qing)向(xiang)也(ye)很(hen)(hen)小，而且TiN比TiC更好。
c. 涂(tu)層有較強的耐蝕性(xing)，TiC涂(tu)層在硫酸(suan)(suan)、鹽酸(suan)(suan)、氯化鈉(na)水(shui)溶液中(zhong)的耐蝕性(xing)良好，而且TiN的耐蝕性(xing)一般都(dou)比(bi)TiC更好一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
