氣相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)按形(xing)成的基本(ben)原理(li)(li)，分為(wei)化(hua)學氣相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)（CVD）和物理(li)(li)氣相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)（PVD）。氣相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)是在(zai)工件(jian)表(biao)面(mian)覆(fu)蓋一(yi)層厚度為(wei)0.5～10μm的過(guo)渡族(zu)元素(su)（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)(deng)）與(yu)C、N、O、B等(deng)(deng)形(xing)成的化(hua)合物，或單一(yi)的金屬及(ji)非金屬涂層，使零(ling)件(jian)表(biao)層改變化(hua)學成分，并在(zai)其表(biao)面(mian)形(xing)成功能性(xing)(xing)（例如超(chao)硬耐磨(mo)層）或裝飾性(xing)(xing)的化(hua)合物涂層的新技(ji)術，現已廣泛(fan)應用于(yu)各類(lei)零(ling)件(jian)的硬化(hua)處理(li)(li)。沉(chen)(chen)積(ji)層的主要類(lei)別及(ji)特性(xing)(xing)見表(biao)3-38。
主要應用的沉積(ji)層(ceng)TiC、TiN涂層(ceng)有以下(xia)特點：
a. 涂層有很(hen)高的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩(mo)擦因數和自潤滑性能，所以抗(kang)磨(mo)粒磨(mo)損性能良(liang)好。
b. 涂層具有很(hen)高的(de)熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩定(ding)性好，基體金(jin)屬在涂層中的(de)溶解度小，摩擦(ca)因數較(jiao)低，因而(er)具有很(hen)高的(de)抗(kang)粘著磨損能(neng)力，使用中發生(sheng)冷焊和咬合(he)的(de)傾向也很(hen)小，而(er)且TiN比(bi)TiC更好。
c. 涂層有(you)較強的耐蝕性，TiC涂層在硫酸(suan)(suan)、鹽酸(suan)(suan)、氯化鈉水溶液中的耐蝕性良好，而且TiN的耐蝕性一般都比TiC更(geng)好一些(xie)。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
