氣相(xiang)(xiang)沉積(ji)按形(xing)成的基本(ben)原理(li)(li)，分為化學(xue)氣相(xiang)(xiang)沉積(ji)（CVD）和物(wu)理(li)(li)氣相(xiang)(xiang)沉積(ji)（PVD）。氣相(xiang)(xiang)沉積(ji)是在(zai)工件表(biao)面覆蓋(gai)一層厚度(du)為0.5～10μm的過渡(du)族元(yuan)素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)成的化合物(wu)，或(huo)單(dan)一的金屬及非金屬涂(tu)層，使零(ling)件表(biao)層改變化學(xue)成分，并在(zai)其表(biao)面形(xing)成功能性(xing)（例如(ru)超硬(ying)耐(nai)磨(mo)層）或(huo)裝飾性(xing)的化合物(wu)涂(tu)層的新技術，現已廣泛應(ying)用于各類零(ling)件的硬(ying)化處(chu)理(li)(li)。沉積(ji)層的主要類別及特性(xing)見表(biao)3-38。
主要應用的(de)沉積層TiC、TiN涂層有以下特點：
a. 涂層(ceng)有很高(gao)的(de)硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的(de)摩擦(ca)因數和自潤(run)滑性(xing)能(neng)，所(suo)以抗磨粒磨損性(xing)能(neng)良好。
b. 涂(tu)層(ceng)具(ju)有(you)很高的(de)熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學(xue)穩定性(xing)好，基體金屬在涂(tu)層(ceng)中(zhong)的(de)溶(rong)解度(du)小，摩擦因數(shu)較低，因而具(ju)有(you)很高的(de)抗粘著磨(mo)損能力，使(shi)用(yong)中(zhong)發(fa)生冷焊和咬合的(de)傾(qing)向也很小，而且TiN比(bi)TiC更好。
c. 涂層(ceng)有(you)較強的(de)(de)耐(nai)蝕(shi)性，TiC涂層(ceng)在硫酸(suan)、鹽酸(suan)、氯化(hua)鈉(na)水溶液中的(de)(de)耐(nai)蝕(shi)性良(liang)好(hao)，而且TiN的(de)(de)耐(nai)蝕(shi)性一(yi)般(ban)都比TiC更好(hao)一(yi)些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
