表面氣相沉積強化工藝技術特點
氣相(xiang)沉積(ji)按形(xing)成的(de)(de)基本(ben)原理,分為化學氣相(xiang)沉積(ji)(CVD)和物(wu)理氣相(xiang)沉積(ji)(PVD)。氣相(xiang)沉積(ji)是在(zai)工件表(biao)面覆蓋一層(ceng)厚度為0.5~10μm的(de)(de)過渡族(zu)元(yuan)素(Ti、V、Cr、W、Nb等(deng))與(yu)C、N、O、B等(deng)形(xing)成的(de)(de)化合物(wu),或(huo)單一的(de)(de)金屬及非金屬涂層(ceng),使(shi)零件表(biao)層(ceng)改變化學成分,并在(zai)其表(biao)面形(xing)成...